| 用于测量辉光放电质谱方法和装置在脉冲模式 |
| WOFR11050865 2011-4-14 发明申请 |
| 2011-10-20 |
| 本发明涉及一种用于测量辉光放电质谱装置在脉冲模式，其包括RF脉冲模式中的电场发生器，放电灯，阻抗调谐器，用于将由发电机的电力供给到放电灯和质谱仪适合测量至少一个信号代表电离的等离子体物质。按本发明，该装置包括测量系统适用于测量信号表示之间的阻抗失配ΔΩ发生器和放电灯，所述测量系统包括快速采集系统，与脉冲同步，适用于提供阻抗调谐器与信号表示用于ΔΩ的阻抗失配至少一个所述脉冲的部分。该装置能使连续阻抗适配。 |
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