| 扫描电镜样品台系统 |
| CN201922143843.8 2019-12-4 实用新型 |
| 2020-6-2 |
| 本实用新型涉及一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在真空室内；横向移动机构，设置在真空室内，包括横向支架、连接横向支架的横向超声波电机、连接横向超声波电机的横向丝杆、设置在横向丝杆上的移动板，移动板滑设在横向支架上，样品台设置在移动板上；纵向移动机构，设置在真空室内，包括纵向支架、连接纵向支架的纵向超声波电机、以及连接纵向超声波电机的纵向丝杆，横向支架设置在纵向丝杆上，且横向支架滑设在纵向丝杆上。上述扫描电镜样品台系统，由于横向超声波电机及纵向超声波电机不额外产生附加磁场，从而不会干扰样品台上方的物镜处的透镜磁场，有效保证样品台上的样品成像质量。 |
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