| 质谱仪 |
| US13565286 2012-8-2 发明申请 |
| 2013-2-7 |
| 本发明提供了一种根据设置在离子源中的真空计和具有质量分析部分的真空室测量的真空度的变化来计算阀的节流部分的直径和孔口的直径的单元，以保持在离子源中流动的试剂气体的流速始终固定，并且改变试剂引入部分、离子源或真空室中的真空度以校正与标准值的差异。 本发明提供了一种装置，该装置测量放电电压、放电电流和等离子体发光强度，以掌握当前情况，从而保持待固定离子源中的等离子体产生状态，并改变放电条件，例如放电电压，以便校正偏离标准值的部分。 |
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