质谱仪
 
EP07003392  2007-2-19  发明申请

2008-8-20
 
  所述质谱仪的电离室(B)与进料通道(A),用于检查气体,电子枪用于将气体电离,加速电离电子的电极。其它电极提供了用于质量相关的分离的离子的加速或减速。能量过滤器(K)设计为90[°]的离子和扇区为全平面。该部件设置在电平非导电基板上。在基板上所产生的能量滤波器和掺杂半导体板放置在走线通过单个光刻和刻蚀。
 
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