| 使用电子显微镜对样品成像的方法 |
| EP18208355 2018-11-26 发明申请 |
| 2020-5-27 |
| 本发明涉及一种对样品成像的方法， 所述样品安装在电子显微镜中的样品架上，所述电子显微镜包括用于沿光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转所述束以便用电子束照射所述样品的光学元件。 样品保持器能够相对于电子束定位和倾斜样品。 该方法包括以下步骤：获取倾斜系列TS； 通过用电子束照射样品，并同时在图像采集期间改变样品的位置PS，PM，PE，从而以相关的唯一倾斜角T和相关的唯一位置P采集每个图像。 |
微信公众号