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产业专利数据

基于VCSEL的谐振腔增强原子力显微镜有源光学探头

US16031328 2018-7-10 发明授权

2020-5-26

一种新的谐振腔增强原子力显微镜(AFM)有源光学探头，将半导体激光源和孔径AFM/近场扫描光学显微镜(NSOM)探头集成在外部谐振腔或内部谐振腔结构中，以使得能够在外部谐振腔或内部谐振腔结构处进行常规AFM测量以及光学成像和光谱学。纳米级。