| 保护膜形成方法和保护膜-形成装置。 |
| JP2006230061 2006-8-28 发明申请 |
| 2007-4-26 |
| [P]要解决的问题 : 提供一种等离子体显示面板能实现一个保护膜的用于该等离子体显示面板的小放电延迟时间，和显示图像的长寿命和高的质量作为一种高-精度等离子体显示面板的。[P]溶液 : 该保护膜-形成装置形成一前玻璃基板上的镁的氧化物保护膜11在一沉积室201。该保护膜-形成装置包括一个氧排放口222用于引入氧气向该沉积室201，一种蒸汽排放口210用于通入蒸汽沉积室201从该所携带的方向的下游侧的前玻璃基板11，一种质量分析仪224用于测量所述氢离子强度和该氧离子强度在该沉积室201，一种质量流量控制器215用于控制所述蒸汽引入率基于所述的离子强度测量通过质量分析仪224，和一个质量流控制器221。用于控制所述的氧引入率。[P]版权 : (℃)2007，约inpit |
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