| 一种原子力显微镜探针磨损的摩擦性能修正方法 |
| CN202010069366.X 2020-1-21 发明申请 |
| 2020-5-22 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针磨损的摩擦性能修正方法，所述方法利用AFM测得滑动距离下的粘附力，再利用SEM测得少数组滑动距离下的探针针尖半径，由此得到粘附力与探针针尖半径之间的关系点，通过这些关系点得到关系拟合直线、拟合常数、以及粘附力与探针针尖半径之间的关系式；再根据滑动距离与探针针尖半径之间的拟合曲线得到滑动距离下修正后的针尖半径；最后根据拟合常数和修正后的针尖半径进行摩擦力和粘附力的修正，消除或降低了因针尖磨损所带来原子力显微镜对纳米材料摩擦性能的测量误差，提高了测量精度，提高了纳米材料摩擦性能评估的准确度。 |
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