| 在处理系统中监控离子质量、能量与角度的技术和设备 |
| TW101100960 2012-1-10 发明申请 |
| 2012-9-16 |
| 一种用於监控具有离子能量且入射到基底上的离子物种的角分布的飞行时间(TOF)离子感测器系统, 其包括漂移管, 其中离子感测器系统经配置以改变漂移管相对於基底的平面的角度。漂移管具有第一端, 所述第一端经配置以从离子物种接收离子脉冲, 其中离子脉冲的较重离子和较轻离子以封包形式到达漂移管的第二端。离子侦测器可设置在离子感测器的第二端处, 其中离子侦测器经配置以侦测来源於离子脉冲且对应於个别不同离子质量的离子封包。 |
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