| 具有自动电子束对准的电子显微镜 |
| US16287820 2019-2-27 发明申请 |
| 2020-5-21 |
| 提供了一种配备有自动电子束对准的电子显微镜。 所述电子显微镜可包括真空室，所述真空室具有接收空间以允许测量目标样品定位在所述真空室内。 所述电子显微镜还可以包括电子枪，所述电子枪耦合到所述真空室的顶部，在所述电子枪和所述真空室之间具有绝缘板，并且所述电子枪包括灯丝模块，所述灯丝模块被配置为从电源接收功率并且朝向所述测量发射电子束 靶样品。 灯丝模块可以通过插入绝缘板的通孔中的柔性导线连接到电源，从而当灯丝模块耦合到通孔并且从灯丝模块发射的电子束从绝缘板的通孔中穿过时，防止产生装配误差。 模块与参考光轴自动对准。 |
微信公众号