| 扫描电子显微镜及图像处理方法 |
| EP19209394 2019-11-15 发明申请 |
| 2020-5-20 |
| 本发明提供了一种扫描电子显微镜，其允许容易地掌握成像位置和分析位置。 扫描电子显微镜(100)包括 : 第一检测器(40)，用于检测电子； 用于检测X射线的第二检测器(50)， 以及图像处理部分(88)，用于使表示成像位置的第一标记(604)和表示分析位置的第二标记(606)显示在显示设备(92)上，使得第一和第二标记被放置在样品(S)的整个图像(602)上。 图像处理部(88)根据变更显示在显示装置(92)上的整个图像(602)的放大率的指令，变更整个图像(602)的放大率。 图像处理部分(88)显示新的第一标记(604)，该新的第一标记(604)具有与放置在未改变的放大倍数的整个图像(602)上的第一标记(604)相同的尺寸，使得新的第一标记(604)放置在改变的放大倍数的整个图像上。 图像处理部分(88)使新的第二标记(606)与放置在未改变放大倍数的整个图像(602)上的第二标记(606)相同大小的第二标记放置在改变放大倍数的整个图像(602)上。 |
微信公众号