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扫描探针显微镜
JP2019083856 2019-4-25 发明授权
2020-5-20
[问题]在抑制窄化的同时提高扫描范围的扫描速度。 压电扫描器(120)[A],(140)同轴地设置在壳体内,第一端(128)固定(141)在底部(1)上。 样品保持器(130)设置在压电扫描器(2)的第二端(120)中。 至少一个弹性体(150)是1,压电扫描器(120)(130)(140)被设置在保持器和壳体中的至少一个之间。 图2[图]
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