| 一种环形介质阻挡放电电离装置 |
| CN201210002610.6 2012-1-6 发明申请 |
| 2012-6-27 |
| 本发明涉及一种电离装置，特别涉及一种环形介质阻挡放电电离装置，包括绝缘介质腔、放电电极、推斥电极、绝缘介质和供电电源，所述绝缘介质腔一端开口，另一端封闭且在靠近封闭端的侧壁上设有气体入口；所述放电电极为一组环形电极，紧密围绕在所述绝缘介质腔中部外围，并用所述绝缘介质包敷；所述推斥电极为圆形金属板，置于所述绝缘介质腔封闭端内部，且位于放电电极上方；所述供电电源为所述放电电极供电。本发明的环形介质阻挡放电电离装置具有放电稳定、无电极污染、耐氧化、功耗低、寿命长、工作气压范围宽等特点，可以广泛应用于质谱电离源、等离子体处理和材料制备等方面。 |
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