| 设备和方法用于测量离子 |
| JP2010246319 2010-11-2 发明申请 |
| 2012-5-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于提高效率的方法和装置在测量中存在的离子一种真空装置和被特别通过等离子体产生的。溶液 : 用于测量等离子体中离子的存在是提供一种方法，其特征在于在较高的(下)的电位比一测量的部分的质量分析仪能够分析的一种等离子体装置中的部件连接到所述质量分析仪是施加到电极安装在所述等离子体装置，从而使正(负)所述等离子体中离子以被有效地引入到所述质量分析仪。等离子体中的存在是提供一种离子测量装置，其特征在于在较高的(下)的电位比所述的测量部分的所述质量分析仪能够分析的所述等离子体装置中的部件连接到所述质量分析仪是施加到所述电极安装在所述等离子体装置，从而使正(负)所述等离子体中离子到被有效地引入到所述质量分析仪。版权 : (C)2012，inpit |
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