| 用于估算温度的装置,和时间--飞行的质量光谱仪 |
| JP2006344370 2006-12-21 发明申请 |
| 2008-7-10 |
| 要解决的问题 : 以正确地掌握所述质量中所述移轴的一质量光谱,即使如果所述在所述的周围环境温度变化急剧的一真空室,其封闭该飞行管,其是通过引起这种变化,和其中所述用户可以找出如果该移位偏离从所述的精度的规格一种装置。溶液 : 一个所述质量的步骤响应所述的移轴被预先测量,当该温度是改变在所述真空室1,在步骤。一个参数,其表示一传递函数,基于该响应,被存储在所述传送功能的存储21。一质量移计算部22所述质量估计所述的电流移轴从所述电流中的温度所述真空室1,通过一第二温度传感器24获得的和所述存储21中所存储的传递函数; 当一个分析被实现。一种异常确定部分23确定是否所述移位是一种可接受的范围内。当所述移位超过可接受的范围,该用户一个警告部分25的arouses所关注。版权 : (C)2008,inpit |