| 特定的气体部分压力的检测方法和四极质量分析仪 |
| JP2007044969 2007-2-26 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一特定气体的局部压力的检测方法能够校正的所述部分一个高-压力气氛下测量的压力以一种良好的值而不使用总压力测量装置。溶液 : 该部分中所述特定气体的压力一待测气体是通过测量所检测到的离子电流值对应的所述特定气体的质量电荷比使用一四极质量分析器10。一第一离子电流值对应的所述的测量值与所述特定气体的质量电荷比是校正使用一第二离子电流值对应的所述的测量值与所述质量变化比其中所述一种离子电流的值不出现峰值，以计算该实际所述特定的气体部分压力。版权 : (C)2008，inpit |
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