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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用条状和点状离子束之离子植入装置及方法

TW096121211 2007-6-12 发明申请

2008-2-1

一种离子植入装置其系揭露具有多段操作模式, 离子植入装置具有离子源及离子分析装置以汲取出带状离子束。离子植入装置包含磁体分析装置以选择具有特定质谱分析比的离子通过一质量狭缝以投射於基材上, 多极透镜提供控制离子束均匀度及对准性。本发明揭露两个路径的离子束, 而其第二个路径整合一可过滤能量的减速或加速系统。最後植入的方法系揭露对靶材的一维扫瞄转换至二维扫瞄的植入模式。