| 保护膜形成方法和保护膜-形成装置。 |
| WOJP06317965 2006-9-11 发明申请 |
| 2007-3-22 |
| 本发明公开了一种用于形成保护膜-形成装置的一前玻璃基板上的镁的氧化物保护膜(11)。在一沉积室(201)。该保护膜-形成装置包括一个氧排放口(222)用于引入氧气向该沉积室(201)，水的蒸汽排放口(210)用于通入水蒸汽向该沉积室(201)从所述下游侧的所述的携带该前玻璃基板的方向(11)，一种质量分析仪(224)。用于测量所述氢离子强度和所述的沉积室中的氧离子强度(201)，一个质量流控制器(215)用于控制所述水的蒸汽的引入率基于所述的离子强度测量通过质量分析仪(224)，和一个质量流控制器(221)用于控制所述氧为基础的引入率在所述的离子强度测量通过质量分析仪(224)。 |
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