| 发光体、使用该发光体电子束检测器、扫描电子显微镜和质量分析装置 |
| US11547807 2005-4-7 发明申请 |
| 2008-5-22 |
| 本发明提供一种响应速度快、发光强度高发光体以及使用该发光体的电子束检测器、扫描电子显微镜和质谱仪。 在根据本发明的发光体10中，当响应于电子的入射而由形成在衬底12的一个表面12a上的氮化物半导体层14发射荧光时，该荧光中的至少一些透射通过该衬底12，由此该荧光从衬底的另一个表面12b发射。 该荧光的响应速度不超过μs量级。 而且，该荧光的发射强度几乎与常规p47磷光体的发射强度相同。 具体地说，利用该发光体10，获得了完全满足应用于扫描电子显微镜或质谱仪的响应速度和光发射强度。 此外，盖层16有助于提高氮化物半导体层14中的光发射的持续速率，因此，利用该发光体10，不仅获得了高速响应和高光发射强度，而且获得了优异的持续速率。 |
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