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研磨装置

CN201120294220.1 2011-8-12 实用新型

2012-3-28

本实用新型的研磨装置包括研磨平台、研磨装置控制台、样品输送管和金属离子检测仪；所述样品输送管的一端靠近所述研磨平台，所述样品输送管的另一端与所述金属离子检测仪连接；所述金属离子检测仪与所述研磨装置控制台连接。本实用新型的研磨装置带有金属离子检测仪，可实时判断研磨绝缘介质层时是否研磨到金属硅化物层。