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离子源,用于质谱仪
JP2006164626 2006-6-14 发明申请
2007-12-27
要解决的问题 : 以提供一种离子源,用于一质谱仪能有效地测量的总压力不改变所述的质谱仪的灵敏度。溶液 : 一环形形状的离子集电极通过细导线制造的是一个栅极和一个电子排斥电极之间设置以降低该区域的一个离子收集器,用于测量该总压力,和使所述的总压力测量宽压力范围从一超高真空区以一高真空区在所述离子源的所述质量光谱仪。版权 : (C)2008,inpit
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