| 用于离子注入的离子束装置和方法 |
| US12300172 2007-6-13 发明申请 |
| 2009-8-20 |
| 一种多用途离子注入机束线结构，其被构造成能够注入普通的单原子掺杂离子种类和簇离子， 所述束线结构具有质量分析器磁体，所述质量分析器磁体在所述磁体的铁磁极和质量选择孔之间限定了基本上宽度的磁极间隙， 所述分析器磁体的尺寸设计成接收来自槽形离子源提取孔的艺术离子束，所述槽形离子源提取孔具有至少约80mm的高度和至少约7mm的宽度， 以及在质量选择孔径处在对应于光束宽度的平面中产生色散，质量选择孔径能够被设置为质量选择宽度，质量选择宽度的尺寸被设置为选择相同掺杂剂种类但分子量递增不同的簇离子的光束，质量选择孔径还能够被设置为基本上较窄的质量选择宽度，并且分析仪磁体在质量选择孔径处具有足以能够选择基本上单一原子或分子量的单原子掺杂剂离子的光束的分辨率。 |
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