| 质量光谱仪 |
| JP2006043237 2006-2-21 发明申请 |
| 2007-9-6 |
| 要解决的问题 : 以提高测量吞吐量在一种情况下，调查是否一个对象分量被包含在所述一个样品上的两个三维测量目标区域。溶液 : 第一，一个样品台与相对移动，以一个微小的测量区(激光照射区域)设定到所述一个测量目标区域指示帧41的范围对应的设置空间分辨力，使得质谱分析执行第一中的每个其它一些一个或多个的扫描。通过这种结构，两个三维粗糙解决功率质量分布的图像比所希望的空间分辨力下被形成到被显示。此后，作为扫描一个和第二时间后，所述扫描所述微小的测量区域被执行除了一个进行质谱分析先前和，在每个时间时，获得质谱结果是，该结果是添加到和所述两个三维质量分布上显示的图像，以填充一空白。作为结果，由于精度是所述粗糙后逐渐升高的两个所述整个三维的质量分布所述测量目标区域，测量可以被停止在该点的时间时，所述对象成分被发现和一个测量时间可以缩短。版权 : (C)2007，inpit |
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