| 细颗粒分量分析仪 |
| JP2006295717 2006-10-31 发明申请 |
| 2008-5-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种甚至细颗粒分量分析仪能够可靠地分析的一个部件的相对低浓度。溶液 : 该微粒成分分析仪10包括一个取样装置11用于采样气氛中，静电分类器12用于分类和发送一个精细粒子2纳米-表尺寸的，作为一个目标颗粒直径，从所述采样气体1采样通过所述采样装置11，一聚光装置15所述精细粒子的吸附部2发送出从所述分类器12和发送出该组件所吸附的细颗粒2，一质谱仪14的一激光电离飞行时间型用于分析所述精细粒子2所述的组件从所述分类器12和该细颗粒2所述的组件从所述聚光装置15，和三-方式控制阀16a-16c被切换从而，以提供一个所述的组件的所述精细粒子2从该分类器12和所述组件所述精细粒子2的从所述聚光装置15以该质谱仪14。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号