| 电子显微镜和图像处理方法 |
| CN201911065476.2 2019-11-4 发明申请 |
| 2020-5-12 |
| 提供能够生成能容易地把握元素的三维分布的图像的电子显微镜。扫描电子显微镜(100)包含：电子检测器(40)，其对由于电子束照射到试料(S)而从试料(S)发射的电子进行检测；X射线检测器(50)，其对由于电子束照射到试料(S)而从试料(S)发射的X射线进行检测；及处理部(60)，其基于电子检测器(40)的输出信号和X射线检测器(50)的输出信号生成三维元素图，处理部(60)进行：基于电子检测器(40)的输出信号生成扫描电子显微镜像的处理；基于扫描电子显微镜像生成试料(S)的三维图像的处理；基于X射线检测器(50)的输出信号生成二维元素图的处理；及将二维元素图投影到三维图像来生成三维元素图的处理。 |
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