| 诊断和校准系统用于感应耦合等离子质量分析仪 |
| JP2006295462 2006-10-31 发明申请 |
| 2008-5-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种诊断和校准系统用于感应耦合等离子质量分析仪能够所述感应耦合等离子质量分析仪诊断所述的特性与一等离子体条件和能够自动校准的关注所述设定所述分析器的条件，以使其最佳。溶液 : 该诊断系统的参数组由第一的参数是所述收集相关的所述的输出一个高频电源，第二参数中所述载体气体到所述的流率相关的一种气溶胶和一等离子体炬第三之间的相关到所述距离参数和一个接口，该参数组的所述收集形成预定的存储装置，使得该测量点对应到各个组被连续地设置在一灵敏度\/氧化物离子比图在所述沿长度方向的弓形包络线位置上形成该端所述高灵敏度侧的一绘制的图形作为所述所有测量点的采集，所述的诊断测量由于预定的诊断样品是使用该参数的值执行所述各自的参数组用于构成所述收集和装置所述对应的特性是通过所述的位置确认实际所述灵敏度测量点在所述包络中的线\/氧化物离子比的曲线图。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号