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氢气洁净度质谱分析及气体混合物定量成分的装置

RU2011120311 2011-5-17 实用新型

2011-11-20

本实用新型涉及氢能，高纯氢制备，含高纯氢气体混合物中杂质微浓度分析，质谱技术领域。技术结果是，在氢分压比杂质分压大106倍或更大的情况下，允许同时连续测定氢的纯度和气体杂质的数量，同时简化预富集系统。实现这一结果的条件是 : 氢的纯度和气体杂质的定量成分的质谱分析装置，含有质谱仪，与抽水系统有关，以及连续输入被分析气体混合物的系统，含有被分析杂质的原始气体混合物浓缩装置，介绍了气体混合物压力计，安装在质谱仪入口处，和气体混合物流速计，安装在含有分析杂质的原始气体混合物的浓缩装置入口处，在连续输入系统中，将原始气体混合物的杂质富集装置设计为氢渗透和任何其他气体渗透的选择性膜，该膜安装在一个密封的外壳中，通过可调阀门与质谱仪相连。