| 时间--飞行二次离子质谱仪使用气体的簇离子束 |
| JP2010095415 2010-4-16 发明申请 |
| 2011-11-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个时间--飞行二次离子质谱仪使用一种气体的簇离子束在其二次离子与一个高的质量-号码可以被脉冲，同时保持所述两个所述照射表面的三维信息。溶液 : 从所述照射的表面发射的二次离子分析的样品5被提取的一种提取电极15同时保持所述两个所述照射表面的三维信息和进入一个脉冲栅电极。所述二次离子第一和第二之间的输入电极21a和21b从一个第一通道孔23a被通过该脉冲电压的加速。所述二次离子传递通过一个第二通道孔23b进入分析仪40组成的多个扇状的静电分析仪，其执行空间和时间收敛。多个静电分析器被设置，使得只有所述的二次离子加速通过所述脉冲栅电极被选择，和所述二次离子具有相同的电荷-到-质量比进入一个离子检测器50同时同时保持所述两个三维照射的表面和所述位置信息和时间被检测到。版权 : (C)2012，inpit |
微信公众号