用于所述化学分析过程和装置,用于所述化学分析
 
DE102010052134  2010-11-22  发明申请

2011-11-3
 
  一种程序用于所述化学分析和一个装置被建议用于所述化学分析。该过程用于所述化学分析覆盖 : 将从一个作为一个目标上的电离气体使用的样品,照亮所述样品作为一目标与离子束,和所述分段的离子和分子离子质量分析,其中在所述的情况下被溅射所述碰撞的冲击所述离子束的所述样品作为一个目标。该装置到所述化学分析覆盖 : 一个计量单元,用于电离气体,其将一个作为一个目标上的电离气体使用的样品,其被设置在一真空室,一个源的离子束,其中所述样品上产生的离子束和该辐射作为一个目标,和一质量光谱仪,其中分析所述分段的离子的质量和所述的分子离子; 其被溅射在该情况下,该碰撞的冲击所述的离子束的所述样品作为一目的。
 
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