| 校准参考样品用于二次离子质谱仪，和制造方法及其 |
| JP2006245620 2006-9-11 发明申请 |
| 2008-3-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一校准参考样品具有规定浓度的峰在2-5的深度纳米，其中使所述校准的一个过渡区域中的一个二次离子质谱仪。溶液 : 一离子注入层2具有的杂质原子，其具有峰值的杂质原子浓度在深度5-10，从所述一基板1的表面被形成，和所述离子注入层2是通过再结晶再结晶退火。一形成再结晶层4是从所述基板1所述基板侧到所述的前表面1。在这种状态，所述杂质原子被集成在一个所述再结晶层4之间的接口和所述非晶离子注入层2和形成所述浓度峰值。由于该位置的所述接口是通过退火条件容易控制，等，所述参考样品具有所述浓度一个浅处的峰位置可被容易地制造。版权 : (C)2008，inpit |
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