| 一种微制造的安装装置用于一四极装置 |
| GB0721531 2007-11-2 发明申请 |
| 2009-5-6 |
| 本发明提供了一种方法的一种微型安装在所述的几何形状的圆柱形电极的静电四极，其能够动作作为一种四极质谱滤波器或一个四极离子导，或被用于在一线性四极离子阱。显微制造的上电极109被安装在对支持101和102，其被形成从导电部分在一个绝缘基板100。所述支持包括一悬浮挠曲系统(见图2)之间的失配造成的，以缓解应变所述电极和所述衬底的热膨胀系数，每个悬挂支撑部件可以具有一个入口帧的几何形状(见图3)。一种完整的四极是从两个这种支承构造，其通过进一步被隔开的导电间隔物(见图4)。 |
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