| 相对高试验压力下大泄漏处痕量气体泄漏检测系统和方法 |
| CN200780023392.1 2007-8-28 发明申请 |
| 2009-7-1 |
| 提供相对高试验压力下大泄漏处的痕量气体泄漏检测仪和痕量气体泄漏 检测方法。痕量气体泄漏检测仪包括：试验端口，该试验端口用于接纳含有痕 量气体的取样，该试验端口连接到试验管道；质谱仪，该质谱仪用于检测痕量 气体；高真空泵，该高真空泵具有联接到质谱仪的入口的入口端口；以及前级 泵，该前级泵具有主入口、至少一个中间入口、以及排出口。前级泵的主入口 联接到高真空泵的排出端口。中间入口可控制地连接到试验管道。前级泵选自 以下：涡旋真空泵和螺杆真空泵。 |
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