一种用于痕量气体检漏的高灵敏度无狭缝离子源质谱仪
 
US11354737  2006-2-15  发明申请

2007-8-16
 
  一种质谱仪,包括 : 主磁体,其具有限定间隙的间隔开的磁极,所述主磁体在所述间隙中产生磁场;离子源,其产生离子并将所述离子加速到所述间隙中的磁场中,所述离子源位于所述间隙之外;以及离子检测器,其检测由所述离子源产生并被所述磁场偏转的所选离子种类。 所述离子检测器位于所选择的离子种类的自然焦点处的所述间隙中。 所述质谱仪可用于痕量气体泄漏检测器。
 
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