产业专利数据
 
一种适用于检测离子和电子的粒子探测器
 
US10606930  2003-6-26  发明申请
2004-12-30
 
  一种可从离子检测器切换到电子检测器的粒子检测器，包括离子-电子转换器和闪烁体检测器。 在元件上具有一组电压的情况下，转换器对电子轨迹的影响最小，从而通过闪烁体检测器有效地检测电子。 在元件上具有不同的电压设置的情况下，检测器可以在正离子模式下操作，以对于大多数FIB应用以足够的效率收集正离子。 所述离子-电子转换器优选为圆柱形或包括多个平行板
 
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