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4
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扫描式电子显微镜影像强化之方法及系统
TW108124273 2019-7-10 发明申请
2020-5-1
公开了用于图像增强的系统和方法。 一种用于增强图像的方法可包括以第一分辨率获取第一扫描电子显微镜(SEM)图像。 该方法还可以包括以第二分辨率获取第二SEM图像。 该方法还可以包括通过使用第一SEM图像作为增强第二SEM图像的参考来提供增强图像。 通过使用从第一图像提取的一个或多个特征来增强第二SEM图像,或者使用第一SEM图像作为参考来数字增强第二SEM图像,可以提供增强图像。
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