产业集群信息网

产业专利数据

用于泵送装置和方法在一个离子光学装置

CA2632251 2006-12-6 发明申请

2007-7-12

一种用于差动泵送装置和方法的一质量光谱仪或其它离子-光装置提供了一种横向压力液滴引入跨过一个面上的一主转子的一个涡轮分子泵由放置的一个或多个分区在关闭所述主转子到所述的表面附近，因此，两个或多个空间的区域在所述真空腔室具有各自不同的压力是实现与一个单泵。