| 单片光电二极管阵列驱动的离子阱质谱计 |
| US12816875 2010-6-16 发明申请 |
| 2011-6-16 |
| 一种由单片光电二极管阵列驱动的芯片级离子阱质谱仪及其制造方法。 高压光伏电源位于离子阱质谱仪结构附近。 高压光伏电源包括单片制造和串联的光电二极管。 外部光源照射光电二极管以在光电二极管阵列上产生高电压。 通过以期望的RF频率调制光源来获得RF电压调制。 高压光电二极管阵列可以与离子阱质谱仪相关联地单片制造。 与离子阱质谱仪尺寸相比，光电二极管阵列需要较小的面积，因为光谱仪通常具有非常小的电容和低功耗。 |
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