显微镜和显微方法
 
JP2018199590  2018-10-23  发明申请

2020-4-30
 
  [问题]在通过显微镜和显微方法进行相干成像的同时,以高分辨率和高可靠性获取图像。 [解决方案]显微镜100, 用相干光源10, 一种相干光源,用于照射来自结构10的光L21, 一对从倾斜方向分支到样品位置L22的样品表面的基本对称的发光结构20和88a, 88a从样品的样品表面通过物镜45检测散射光的分布并发射出60份的LO1, 相干光源,其来自基准光,通过照射基准光照射部而分支用于检测表面的光检测部,并提供均匀的电场偏移; 提供了一种相干光源,用于通过从10法线45分支的物镜L4照射样品,该相干光源照射在用基本88A40照射的样品上。 图1[附图]
 
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