| 用于临界尺寸定位显微镜的装置 |
| US16663959 2019-10-25 发明申请 |
| 2020-4-30 |
| 执行关键尺寸定位显微镜包括 : 使参考人工制品的第一尺寸构件和第二尺寸构件经受关键尺寸度量，所述第一尺寸构件和第二尺寸构件组合，包括关键尺寸，并且每个独立地提供光学对比度； 确定可溯源到国际单位米制的临界尺寸的主长度； 通过光学显微镜对第一维部件和第二维部件在校准光场中成像，校准光场设置在目镜光场中； 根据所述第一维部件和所述第二维部件的所述光学显微镜，确定经受所述临界尺寸度量的所述临界尺寸的第二长度和第二长度不确定性； 以及将所述校准光场和所述次级长度校准为所述初级长度，以建立所述次级长度到国际单位米系统的溯源，以执行临界尺寸定位显微镜。 |
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