产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

多束离子/电子能谱显微镜

US12309345 2007-7-20 发明申请

2009-12-31

本发明是一种多束带电粒子测量仪，它能同时将电子和各种正负离子如镓、氧、铯离子聚焦到同一材料靶上。此外，该仪器还可同时捕获二次电子和离子的光谱。该仪器的高色散、高分辨率质谱仪部分可望在周期表的整个范围内检测和识别二次离子物种，并记录其发射能谱的一部分。该仪器的电子能谱仪部分用于获取从低能二次电子到弹性背散射电子的整个散射电子范围。