| 多层金属波纹管氦质谱检漏装置 |
| CN201020223662.2 2010-6-12 实用新型 |
| 2011-5-11 |
| 多层金属波纹管氦质谱检漏装置，包括氦质谱检漏仪和氦气源，其特征在于检漏密封结构的组合：上法兰和下法兰置于被检波纹管两端，O型橡胶密封圈分别放在上法兰和下法兰的T型面上，外环放置于波纹管两端部的外侧，用于加固波纹管接口和固定上压盖和下压盖，然后把上压盖和下压盖放在O型橡胶密封圈上，用螺钉把上下两部分锁紧，直至密封结构与波纹管直壁内侧之间不松动为止。特点一是加大上下法兰厚度，减少波纹管的有效容积，从而加快设备的预抽时间；二是波纹管两端采用O型橡胶圈密封法，既避免了波纹管与真空脂的直接接触，又提高了检漏效率。根据被检金属波纹管的不同规格，更换相应尺寸的上压盖、下压盖、O型橡胶密封圈和法兰，从而满足金属波纹管泄漏率的检测要求。 |
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