| 低能量扫描电子显微镜系统，扫描电子显微镜系统及试样检测方法 |
| WOCN19100871 2019-8-15 发明申请 |
| 2020-4-30 |
| 一种低能量扫描电子显微镜系统，包括 : 电子源，用于产生电子束； 电子加速结构，用于提高电子束的运动速度； 复合物镜，用于会聚由电子加速结构加速的电子束； 偏转装置，用于改变电子束的运动方向； 检测装置，用于接收电子束作用于样品时产生的二次电子和反向散射电子，并接收反向散射电子；以及控制装置，用于改变二次电子和反向散射电子的运动方向； 以及电子透镜，包括第二子检测装置，样品台和控制电极，用于降低电子束的运动速度和改变二次电子和反向散射电子的运动方向。 还提供了一种扫描电镜物镜系统和一种样品检测方法。 |
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