| 通过扫描隧道显微镜的去钝化光刻 |
| WOUS19057632 2019-10-23 发明申请 |
| 2020-4-30 |
| 提供了用于形成原子精确结构的方法，装置和系统。 在一些实施例中，本公开的方法，装置和系统利用扫描隧道显微镜(STM)系统来接收具有待图案化表面的样品。 所述系统将导电尖端定位在所述表面的像素区域上。 当导电尖端相对于表面保持横向固定时，系统在导电尖端和表面之间施加偏置电压，使得导电尖端和表面之间的电流从像素区域去除至少一个原子。 当该系统感测到该至少一个原子的移除时，该系统停止施加电压和电流。 然后，该系统验证该至少一个原子已从该像素区域移除。 |
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