| 用于地下原子力显微镜的频率跟踪 |
| EP18202543 2018-10-25 发明申请 |
| 2020-4-29 |
| 一种用于执行地下原子力显微镜测量的方法和系统，该系统包括 : 用于产生驱动信号的信号源； 换能器，其被配置为接收所述驱动信号，用于将所述驱动信号转换成振动波，并将所述振动波耦合成包括用于与所述样品内的地下特征相互作用的样品的叠层； 悬臂尖端，用于接触所述样品，以测量由所述振动波引起的表面位移，从而确定地下特征； 其中所述系统包括测量装置，用于在所述地下原子力显微镜测量期间和/或之间测量从所述换能器返回的测量信号。 |
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