| 四极质谱计相对灵敏度校准系统 |
| CN200720191021.1 2007-12-28 实用新型 |
| 2008-11-19 |
| 本实用新型涉及四极质谱计的相对灵敏度校准，属于校准领域。四极质谱计相对灵敏度校准系统由被校四极质谱计、质谱室、高真空压力测量规、进样系统、高真空抽气系统和计算机组成。其中被校四极质谱计用于测量质谱室内的气体组分含量，质谱室提供四极质谱计所需的高真空环境，高真空压力测量规用于质谱室内压力的精确测量，进样系统确保向质谱室内充入满足要求的已知组分含量气体，高真空抽空系统用于质谱室高真空环境的获得，计算机用于被校四极质谱计测量数据分析和校准因子计算。具有校准不确定度小，能克服四极质谱计定量分析困难等优点。 |
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