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用于质谱仪入口的低电导硅微泄漏的系统，方法和设备

US11862550 2007-9-27 发明申请

2009-4-30

本发明提供了系统，方法和设备，在一些实施例中，质谱仪微泄漏包括多个由半导体处理工具制造的通道，并且包括多个入口孔，所述入口孔提供对所述通道的访问。