| 一种微米级的气体放电的离子检测器 |
| WOUS07082609 2007-10-26 检索报告 |
| 2008-7-24 |
| 一种微米级的平面装置，用于检测颗粒具有高灵敏度高的压力下。该装置可以具有一个阳极和阴极与一个绝缘体位于它们之间。所述绝缘体可以具有一数量的孔，所述阳极和阴极之间的空腔或通道。可以有导电环在所述阳极上的所述信道的所述开口的周边侧的所述绝缘体。这些环可以被所述阳极的一部分。一种离子可以被吸引到一个所述的信道，其中它与一气体到交互结果在一个雪崩击穿。所述击穿可通过仪器连接到所述阳极和阴极被检测到。所述的横向和\/或所述信道的纵向尺寸可以使得该装置可操作作为一个检测器与环境空气作为一关于一个其下的压力气体气氛。 |
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