| 近距离扫描表面污染分析仪 |
| US11959080 2007-12-18 发明申请 |
| 2009-6-18 |
| 在电子器件制造过程中，减少化学污染物对于保持有竞争力的生产成本越来越重要。 目前，生产车间没有能力在常规基础上绘制跨越电子器件衬底的化学污染物图。 本发明公开了一种扫描表面化学分析仪，用于绘制各种化学物质在衬底上的分布。 所述分析器包括传感器阵列，每个传感器检测单个化学物质或窄范围的化学物质；扫描机构，用于提供映射能力；电信号分析器，用于收集和分析来自传感器阵列的信号并生成化学物质分布的报告；以及光学解吸机构，用于放大检测。 优选实施例包括传感器阵列中的微型四极质谱仪阵列。 扫描模式包括整个衬底映射、区域采样和已知缺陷位点的点采样。 |
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