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原子力显微镜探针和制造探针的方法

US16699612 2019-11-30 发明申请

2020-4-23

通常提供与扫描探针显微镜探针相关的制品和方法。扫描探针显微镜探针可以包括芯片，附接到芯片的机械谐振器，附接到机械谐振器的尖端，以及附接到芯片的手柄。手柄可以具有至少5mm的长度和小于或等于500微米的平均厚度。所述探针还可以包括覆盖所述芯片和所述手柄两者的绝缘涂层。