| 用于确定盖玻片或载玻片厚度的方法和显微镜 |
| WOEP19078326 2019-10-18 发明申请 |
| 2020-4-23 |
| 本发明涉及一种用于确定显微镜(10，78)中的盖玻片或载玻片(24)的厚度的方法，所述显微镜具有面向样品室(14)的物镜。 在样品室(14)中，两个光学介质(26，28)邻接盖片或载片(24)的两个相对表面(64，68)，从而形成两个部分反射的边界表面，这两个边界表面与物镜(12)相距不同的距离。 测量光束(34)由物镜(12)以倾斜入射方式偏转到盖滑动件或滑动件(24)上。 产生两个空间上分开的反射光束(54a，54b)，其中测量光束(34)在两个相应的边界表面上被部分反射。 两个反射光束(54a，54b)被物镜(12)接收并被引导到位置敏感检测器(60)。 检测两个反射光束(54a，54b)在位置敏感检测器(60)上的入射类型。 基于检测到的两个反射光束(54a，54b)的入射类型来确定盖滑动件或滑动件(24)的厚度。 |
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